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净化工程概述
发表时间:2016-11-23     阅读次数:     字体:【

在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在 某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气前提如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等机能。
控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中出产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

乱流式
  空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式合用于洁净室等级1,000-100,000级。
  长处:构造简朴、系统建造本钱低,洁净室的扩充比较轻易,在某些特殊用途场所,可并用无尘车间,进步洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统休止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相称长一段时间。

层流式
  层流式空气气流运动成一平均之直线型,空气由笼盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式合用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
  (1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严峻。

  长处:构造简朴,运转后短时间内即可变成不乱。
  缺点:建造用度比乱流式高,室内空间不易扩充。
  (2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器笼盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作职员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
  长处:治理轻易,运转开始短时间内即可达不乱状态,不易为功课状态或功课职员所影响。
缺点:构造用度较高,弹性运用空间难题,天花板之吊架相称占空间,维修更换过滤器较麻烦。

复合式:
  复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
  (1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上,可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之 工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
  洁净地道另有二项长处:A.弹性扩充轻易; B.维修设备时可在维修区等闲执行。
  (2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经由的自动出产线包抄并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和功课员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁 净度,可节省能源,不需人工的自动化出产线为最相宜使用。药品、食物业界及半导体业界均合用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级进步为10~1000级以上,认为出产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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